변 변재훈 자소서 · 삼성전자 / 반도체공정 Q. 포토공정 중 노광시간을 길게 하면 어떤 문제가 생기나요? 포토공정 중 노광시간을 길게 하면 어떤 문제가 생기나요?노광 시간을 달리한 웨이퍼(정상시간, 조금길게, 매우 길게) 3장을 전자현미경으로 관찰하면 어떤 문제가 관찰되나요???
채택 니 니꿈은뭐니 삼성전기 코사장 ∙ 채택률 85% 답변 더보기 네가티브 PR의 경우 노광시간을 길게하면 경화면적이 증가하여 CD가 커져 결국에는 open 영역에 브릿지가 생겨 제대로된 패턴형성이 안되고 포지티브 PR의 경우에는 반대로 경화면적이 줄어 CD가 작아지게 됩니다.
채택 삼성전자현직ililii 삼성전자 코부장 ∙ 채택률 72% ∙ 회사 산업 일치 답변 더보기 안녕하세요 삼성전자 현직자입니다. https://employeelife.tistory.com/14 관련사이트 첨부합니다. 참고하세요.
채택 i iiiiiiiiiiiiiiiii 삼성전자 코이사 ∙ 채택률 63% ∙ 회사 산업 일치 답변 더보기 CD가 타겟 대비 작아져서 문제가 생깁니다.이 외에 여러 Weak한 패턴에서 문제가 생길 수 있겠죠. dot pattern이라던가..
2022.05.05