자소서 · 삼성전자 / 반도체공정

Q. 포토공정 중 노광시간을 길게 하면 어떤 문제가 생기나요?

포토공정 중 노광시간을 길게 하면 어떤 문제가 생기나요?

노광 시간을 달리한 웨이퍼(정상시간, 조금길게, 매우 길게) 3장을 전자현미경으로 관찰하면 어떤 문제가 관찰되나요???

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니꿈은뭐니
코사장 ∙ 채택률 85%

네가티브 PR의 경우 노광시간을 길게하면 경화면적이 증가하여 CD가 커져 결국에는 open 영역에 브릿지가 생겨 제대로된 패턴형성이 안되고 포지티브 PR의 경우에는 반대로 경화면적이 줄어 CD가 작아지게 됩니다.


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삼성전자현직ililii
코부장 ∙ 채택률 72% ∙
회사 산업
일치

안녕하세요 삼성전자 현직자입니다.


https://employeelife.tistory.com/14
관련사이트 첨부합니다. 참고하세요.


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i
iiiiiiiiiiiiiiiii
코이사 ∙ 채택률 63% ∙
회사 산업
일치

CD가 타겟 대비 작아져서 문제가 생깁니다.
이 외에 여러 Weak한 패턴에서 문제가 생길 수 있겠죠. dot pattern이라던가..


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l
lIIIIl
코사장 ∙ 채택률 79% ∙
회사 산업
일치

PR 패턴이 망가져서 Lifting 같은 불량이 생기게 됩니다


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