Q. 시스템 반도체 증착공정
증착공정이 반도체의 품질을 좌우한다는 것에 대해 배웠습니다.
또 다른 어떠한 부분에서 증착 공정이 중요한지 궁금합니다.
예를 들어 GAA와 같은 차세대 트랜지스터에 증착 공정이 기여하거나 중요성이 무엇인지 궁금합니다.
증착공정이 반도체의 품질을 좌우한다는 것에 대해 배웠습니다.
또 다른 어떠한 부분에서 증착 공정이 중요한지 궁금합니다.
예를 들어 GAA와 같은 차세대 트랜지스터에 증착 공정이 기여하거나 중요성이 무엇인지 궁금합니다.
다만, GAA 구조를 보시면 채널이 nanowire이고, 그것을 gate가 감싸고 있는 구조잖아요. 해당 구조를 만드려면 채널과 게이트를 번갈아가면서 쌓는 공정이 필요한데 이 때, 증착공정의 컨트롤이 굉장히 중요합니다. 서로 다른 물질을 원하는 두께만큼 균일하게 증착하는 것이 중요합니다.
2022.05.31