직무 · 삼성전자 / 설계엔지니어

Q. CVD 관련 질문

띵띵띵띵

1. CVD 공정 장비 주요 이슈 (트러블) 2. 사용하는 펌프 종류 ex(저진공에서는 로터리 베인 펌프 사용?) (고진공에서는 이온 펌프? 아니면 오일확산 펌프?) 3. 펌프 동작 순서는 저진공 -> 고진공인데 만약 고진공 펌프부터 동작하면 고진공 펌프가 고장나는이유


2022.06.05

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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