직무 · 삼성전자 / 설계엔지니어
Q. 반도체 장비에서 발생하는 고질적인 이슈
안녕하세요, 혹시 반도체 장비 (증착, 식각, 세정, 패키징, 분석 등등) 에서 발생하는 고질적인 이슈가 있다면 어떤 것들이 있는지 여쭤볼 수 있을까요?! 증착장비나 식각장비에 대해 말씀해주시면 더욱 더 감사하겠습니다. 또한, 식각공정에서 발생하는 arcing이나 edge ring effect / 증착 공정에서 발생하는 박막의 stress, center to edge uniformity 또한 장비에서 발생하는 이슈라고 볼 수 있는건가요? 답변해주시면 감사하겠습니다.
2023.11.16
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