직무 · 삼성전자 / 연구개발

Q. ALD(Atomic Layer Deposition) 공정 양산성 높이는법

취뽀다취뽀!

반도체 공정중에 ald가 원자층을 한층씩 쌓아서 장점이 되게 많은 것으로 알고있는데요, 그럼에도 증착속도가 너무 낮아서 생산성 높이려면 장비를 개선해야하잖아요? 이를 위해서 1. 한번에 여러장의 웨이퍼를 처리하는 장비 2. 가스의 투입과 분리를 빠르게 진행할 수 있도록 개선 이것말고도 현직자님들께서 알고계시는 게 있나요?? 면접에서 혹시 어떻게 개선시키고 싶냐고 물어볼수도 있을것같아서요^^


2019.11.29

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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