Q. 어플라이드 머티어리얼즈 장비 플랫폼에 관한 질문입니다!
제가 조사해본 결과 아래와 같은 라인업과 특징이 있는 것으로 알고 있습니다.
1990년 Endura, Small Chamber의 IMS System
1992년 Centura, Large Chamber들의 호환성 향상
1998년 Producer, Dual, Triple Chamber 확장 가능
2010년 Centris, -Producer 챔버 큰버전?
2023년 Vistara- 여러 챔버들을 자유롭게 통합할 수 있는 등 진보된 IMS System 및 AIx를 통한 공정개발 및 생산성 향상
사실 이렇게 써놓기만하면 각각 무슨 장점이있고, 어떤 이유로 개발되었는지 알아보기가 쉽지않습니다. 현직자분들께서 자세하게 설명해주시면 정말 감사하겠습니다 ㅠㅜ
1. Endura (1990): 이 시스템은 소형 챔버를 기반으로 하여 초기 반도체 제조 공정에서의 효율성을 높이는 데 중점을 두었습니다. 소형 챔버는 공간 절약과 빠른 사이클 타임을 제공하여 생산성을 향상시켰습니다.
2. Centura (1992): 대형 챔버와의 호환성을 개선하여 다양한 공정 요구에 대응할 수 있도록 설계되었습니다. 이는 고객이 다양한 제조 공정을 통합하여 운영할 수 있게 하여 유연성을 높였습니다.
3. Producer (1998): 이 모델은 듀얼 및 트리플 챔버 확장 가능성을 제공하여 생산량을 증가시키고 다양한 공정을 동시에 처리할 수 있는 능력을 갖추었습니다. 이는 대량 생산 환경에서의 효율성을 크게 향상시켰습니다.
4. Centris (2010): Producer 챔버의 대형 버전으로, 더 많은 공정을 동시에 처리할 수 있는 능력을 제공하여 생산성을 더욱 높였습니다. 대형 챔버는 공정의 일관성을 유지하면서도 대량 생산을 가능하게 합니다.
5. Vistara (2023): 이 시스템은 여러 챔버를 자유롭게 통합할 수 있는 진보된 IMS 시스템을 특징으로 하며, AIx 기술을 통해 공정 개발 및 생산성을 향상시킵니다. 이는 고객이 더욱 복잡한 제조 요구에 맞춰 유연하게 대응할 수 있도록 지원합니다.
각 모델은 반도체 제조 공정의 발전과 고객의 요구에 맞춰 지속적으로 개선되어 왔으며, 이러한 진화는 생산성, 효율성, 유연성을 높이는 데 기여하고 있습니다.
2024.11.21