Q. CMP 공정 Recipe 최적화란,,,?

답변 2

• 쫑

  쫑롱롱기아

  코부장 ∙ 채택률 84%

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  안녕하세요, 취업 준비로 고생 많으십니다. 1. 품질을 일정하게 유지하고 효율성 높일 수 있는 공정 조건을 조정하는 작업입니다. 주지하시다시피 장비 셋업을 위한 recipe 최적화는 장비가 만들어진 후 해당 장비의 특성에 맞는 공정 조건을 설정하고, 그리고 생산성을 최적화하는 작업입니다. 이는 장비와 공정 간 최적화 될 수 있는 환경을 만들고안정적인 생산을 가능하게 합니다. 2. wafer demo를 통해 미보유 장비에서 공정 특성을 확인해 실제 생산에서 발생할 수 있는 문제를 미리 파악하고 해결책을 도출하기 위해 wafers을 반송하여 테스트를 진행하므로 중요합니다. 응원하겠습니다 ~ 도움이 되셨다면 채택도 부탁드려요 ^^

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• 니

  니꿈은뭐니삼성전기

  코사장 ∙ 채택률 86%

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  1. 공정기술의 레시피 최적화는 생산품 대량생산의 수율확보를 위한 공정조건 최적화 작업이고 장비셋업을 위한 최적화는 셋업에 필요한 기준 조건이 있는데 이걸 만족시키기 위한 작업이라 보시면 됩니다. 2. 말그대로 장비 구매로 이어지기 위한 사전 검증 평가 작업입니다.

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