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Q. CMP 공정 Recipe 최적화란,,,?
프로세스 셋업 : 해당 장비의 양산화를 위해 공정 recipe 최적화 작업 wafer demo: 미보유 장비에 대한 공정특성을 분석하기 위해 장비가 있는 곳으로 wafer를 반송하여 공정을 진행한 후, 반입하여 공정 특성을 분석하는 행위 1. 공정기술의 공정 recipe 최적화와 장비사에서 장비를 만든 뒤 장비 셋업을 위한 recipe 최적화 작업의 차이가 무엇인지 궁금합니다. (후자에 대한 내용을 자세히 알려주시면 감사하겠습니다.) 2.wafer demo: 이것을 진행하는 이유는 뭔가요?
2025.02.15
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