Q. KLA algorithm developer 질문

답변 2

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  두부르농업회사법인닥더애그주식회사

  코전무 ∙ 채택률 59%

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  OCD에서는 RCWA,FDTD,FEM,INVERSE MODELING 에서는 자주 사용합니다. Defect 기반 inspection 쪽은 이미지 처리 위주라 RCWA는 거의 사용하지 않습니다.

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  댓글 1

  무

  무지무2

  작성자

  2025.06.18

  그렇군요~~ 그냥 실험된 시그널들만 파일로 받아서 학습시키는건가요?

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  프로답변러YTN

  코부사장 ∙ 채택률 85%

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  멘티님, KLA 알고리즘 개발자들은 반도체 공정 검사 및 계측 장비에서 RCWA를 광학 산란 신호 모델링과 오버레이/결함 패턴 해석에 적극 활용합니다. 특히 KLA-Tencor의 AcuRate 소프트웨어 패키지에서 RCWA 기반 시뮬레이션을 통해 산란계측 타켓의 회절 패턴을 정밀하게 계산하며 머신러닝과 결합한 고감도 계측 알고리즘 개발 시 RCWA 모델을 입력 데이터 생성기로 활용하기도 합니다. 최근에는 GPT 가속화 및 자동 미분이 적용된 grcwa 같은 오픈소스 툴을 활용해 계산 효율성을 높이는 추세입니다.

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