면접 · KLA-텐코 코리아 / 설비관리/운영

Q. KLA 검사장비 관련

안녕하세요 KLA CSE지원자로 다음주 1차면접을 준비하고 있습니다. 반도체 공정 장비에 대한 내용은 많은데 검사, 계측장비에 대한 정보는 잘 없어서 여쭤봅니다.. 제 생각엔 검사, 계측장비는 회로패턴의 미세화에 따라 검출해야할 defect도 미세화 되고 원하지 않는 패턴을 발견하기 위해서라도 더 작은 size까지 측정할 수 있는게 핵심이라 생각합니다. KLA 장비의 경우 전자빔 등으로 나노스케일의 결함들을 발견하는것으로 알고 있는데, 기계공학도로서 어떤 기술적인 결함 극복에 기여할 수 있을지 궁금합니다. 예를들어 EUV의 경우 진공상태를 위해 진공펌프 관리가 중요한데 검사장비는..현재 어떤 한계를 겪고 있는지 알고 싶습니다...!