직무 · LG디스플레이 / 공정관리

Q. 디스플레이에서 Dry Etch 공정이 사용되는 Layer

부쟈

안녕하세요. 현재 LG 디스플레이 면접준비중인 취준생입니다! Dry Etch 공정을 공부하면서 Dry Etch는 보호막, 절연층, 반도체막 등을 식각하고 Wet Etch는 금속막을 식각한다고 알고있습니다. 하지만 공부하면서 TFT에서 소스, 드레인, 게이트에 contact Hole 을 생성할 때 Dry Etch 공정으로 진행한다는 글을 읽었는데, 소스, 드레인, 게이트는 전극인데 왜 Dry Etch로 진행하는건지 궁금해서 질문드립니다!


2022.05.08

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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