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Q. TFT 질문있습니다
TFT에서 LTPS TFT만 임플란트를 진행하고, oxide나 a-si TFT에서는 임플란트를 안하는데.. 이유가 무엇인가요??
2021.06.03
답변 2
- 디디알남LG디스플레이코차장 ∙ 채택률 55% ∙일치회사
추가로, oxide TFT의 경우, LTPS와 전자이동 mechanism이 다릅니다. LTPS 는 반도체처럼 3족이나 5족을 도핑해서 전류를 흐르게하지만 oxide TFT의 경우 Ar 을 oxide에 조사하여 O2 vacancy 를 만들어내고, 이 vacancy 가 carrier 의 이동을 컨트롤하게 됩니다. 따라서 즉, doping 개념이 아닙니다.
- nnoalab231머크코대리 ∙ 채택률 94%
TFT 구조에 따라 LTPS도 implant를 안 할 수도 있지만 기본적으로 LTPS는 implant를 통해 source/drain 도핑을 할 수 있기 때문입니다. 이는 source/drain의 contact resistance를 감소시켜 줍니다. a-Si:H이나 AOS 같은 경우는 metal 증착을 통해 source/drain을 형성합니다.
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