Q. TFT 질문있습니다

답변 2

• 디

  디알남LG디스플레이

  코차장 ∙ 채택률 55% ∙

  회사

  일치

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  추가로, oxide TFT의 경우, LTPS와 전자이동 mechanism이 다릅니다. LTPS 는 반도체처럼 3족이나 5족을 도핑해서 전류를 흐르게하지만 oxide TFT의 경우 Ar 을 oxide에 조사하여 O2 vacancy 를 만들어내고, 이 vacancy 가 carrier 의 이동을 컨트롤하게 됩니다. 따라서 즉, doping 개념이 아닙니다.

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• n

  noalab231머크

  코대리 ∙ 채택률 94%

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  TFT 구조에 따라 LTPS도 implant를 안 할 수도 있지만 기본적으로 LTPS는 implant를 통해 source/drain 도핑을 할 수 있기 때문입니다. 이는 source/drain의 contact resistance를 감소시켜 줍니다. a-Si:H이나 AOS 같은 경우는 metal 증착을 통해 source/drain을 형성합니다.

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