Q. Q. photolithography 시 development time, exposure time 조절 따른 ADI-CD변화

답변 3

• 엔

  엔지니어멘토SK하이닉스

  코부사장 ∙ 채택률 81% ∙

  회사

  일치

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  안녕하세요. 1번처럼 결과가 나왔다면 시간 줄이는게 방법이 맞습니다. 잘 판단하신겁니다. 노광시간이라는게 결국은 Exposure 진행하는 총량에 영향을주기에 이걸로 인해 CD 영향을 받게되기에 이로인해 CD 조절을 합니다. 빛이 도달했기에 반응을한것이고, 그 영향차이는 충분히 반응을 했는가에 따라 달라지기에 Exposure Time이 영향을 주는것으로 이해하시면 될것같습니다. 현상액은 다른걸 사용해도 가능은하지만 화학적 특성은 비슷해야반응을 하기에 가능하면 바꾸는것보다는 시간조절등으로 컨트롤하시는게 일반적일듯합니다.

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• r

  reinheart우양포토닉스

  코부장 ∙ 채택률 52%

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  2 annealing 가능성이 높아요 cd 가 낮아집니다 3 타 현상액 쓰죠 pos 나 neg 도 다 달리 쓰구요 1 타겟과 평균값 멀어지면 시간 감소가 최선일겁니다 타 변수는 온도가 되겠네요

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• 하

  하닉이궁금증해소SK하이닉스

  코이사 ∙ 채택률 56% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  노광 파장 및 시간에 따라 CD 값에 당연히 노출 시간 차이로 영향이 있을 수 있습니다.현상액을 바꿔보는게 도움이 될수 있습니다

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