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직무 · SK하이닉스 / 공정설계

Q. 단면/표면 분석으로 thermal migration을 진단할 수 있나요?

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금속의 thermal migration을 측정기기나 분석기기로 진단할 수 있는지 궁금합니다. 예를 들어 단면을 분석했는데 spike의 존재를 눈으로 볼 수 있다던지, 표면이 너무 울퉁불퉁하다던지, 혹은 thermal migration이 진행됐을 때 특징적인 iv curve나 다른 특성이 나타나는지 등이 궁금합니다. 그리고 측정/분석기기로 진단할 수 있다면, 어떤 기기로 가능할지, 어떻게 불량 원인을 분석하는지 궁금합니다.

2022.03.15

답변 3

  • a
    ak1234SK하이닉스
    코차장 ∙ 채택률 66% ∙
    회사
    일치

    안녕하세요 멘티님 TEM을 이용해 단면을 보면 실제로 spike, 거친표면모양 등의 모습을 확인할 수 있습니다. 이를 통해 증착/CMP 등의 공정이 잘 이루어졌는지 파악합니다. 감사합니다.

    2022.03.15

  • 행
    행복주입소SK하이닉스
    코전무 ∙ 채택률 71% ∙
    회사
    일치

    안녕하세요 멘티님, 보통 TEM 분석을 많이 사용합니다. 해당 분석으로 THERMAL MIGRATION 특이점을 파악합니다. 감사합니다. 좋은 하루 되세요~!

    2022.03.14

  • 니
    니꿈은뭐니삼성전기
    코사장 ∙ 채택률 86%

    보통 FIB나 TEM분석으로 마이그레이션 특이점을 파악할 수 있습니다.

    2022.03.14

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    설계팀

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