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Q. HBM만들때 Photo
HBM은 10nm급 Dram을 수직으로 적층해서 만드는 구조로 알고있습니다! 이때, 사용되는 광원이 무엇인지 궁금합니다! ArF-Immersion을 사용하는지 ArF-Dry를 사용하는지 궁금합니다. 또한, HBM을 만들때 Photo공정팀은 10nm급 Dram을 만들기 위한 패터닝을 진행하나요? HBM을 만들때 패키징기술이 중요한것은 알고있는데 Photo공정은 어떤역할을 하는지도 궁금합니다.
2024.11.10
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