Q. HBM만들때 Photo
HBM은 10nm급 Dram을 수직으로 적층해서 만드는 구조로 알고있습니다!
이때, 사용되는 광원이 무엇인지 궁금합니다! ArF-Immersion을 사용하는지 ArF-Dry를 사용하는지 궁금합니다.
또한, HBM을 만들때 Photo공정팀은 10nm급 Dram을 만들기 위한 패터닝을 진행하나요?
HBM을 만들때 패키징기술이 중요한것은 알고있는데 Photo공정은 어떤역할을 하는지도 궁금합니다.
HBM은 10nm급 Dram을 수직으로 적층해서 만드는 구조로 알고있습니다!
이때, 사용되는 광원이 무엇인지 궁금합니다! ArF-Immersion을 사용하는지 ArF-Dry를 사용하는지 궁금합니다.
또한, HBM을 만들때 Photo공정팀은 10nm급 Dram을 만들기 위한 패터닝을 진행하나요?
HBM을 만들때 패키징기술이 중요한것은 알고있는데 Photo공정은 어떤역할을 하는지도 궁금합니다.