직무 · SK하이닉스 / 양산개발

Q. 반도체 칩메이커 회사에서 SEM 장비를 활용하는 방법이 궁금합니다.

안녕하세요 1) 현재 칩메이커 회사에서 MI(Metrology & Inspection)를 진행할 때, SEM 장비의 경우 자동화로 측정되나요 혹은 엔지니어가 직접 측정을 하나요? 직접 다룬다면 전체 면을 모두 확인하는 데에 어려움이 있을 것 같은데, 검사 속도 이유로 실제 산업에서 광학 장비를 주로 사용하는 걸까요? 2) 반도체 소자가 발전되면서 SEM으로만 측정이 가능해진 부분이 있을까요? (ex) aspect ratio 가 큰 부분의 벽면, 미세 구조의 결함 등 3) SEM 장비가 더욱 많이 사용되기 위해서는 어떤 특성이 개선되면 좋을까요? (ex) SNR, Contrast, 자동화 등