면접 · SK하이닉스 / 양산개발

Q. Trade off 관계를 이해하려고 하는 중인데, 제가 쓴 말이 맞나요?

전자가 이동하여 소자가 구동하기 위해서는 불순물 도핑이 필요하며, 이때 이온 임플란테이션을 통해 이루어집니다. 정해진 영역에 정해진 양의 이온을 주입해야 하는데, 패턴을 형성해서 도핑을 맞지 않아야 하는 곳을 PR 패터닝으로 막아줘야 합니다. 임플란트의 세기는 대부분 10의 13제곱 정도이기 때문에 이렇게 강한 에너지를 조사하기 위해서는 원치 않은 곳에 두꺼운 PR로 소자를 막아줘야 합니다. 그렇지만 또 소자의 미세화에 따라 critical dimension이 작아지면서 노광 공정에서의 selectivity 역시 중요하게 되었고, 이에 영향을 끼치는 PR의 두께는 얇을수록 좋습니다. -질문- 1. Trade off 관계를 이해하려고 하는 중인데, 제가 쓴 말이 맞나요? 2. 특히 노광 공정에서는 selectivity에 영향을 끼치는 PR의 두께는 얇을수록 좋다는 말이 맞는지 사실 여부 확인이 급합니다 !! 그리고 이 말이 맞다면 왜 얇을수록 좋은지도 알려주시면 감사하겠습니다!