직무 · SK하이닉스 / 공정기술
Q. DRAM공정에서의 HKMG
하이닉스, 삼전 둘다 이미 몇년 전에 메모리 공정에서도 HKMG 공정을 도입 한 걸로 아는데요. Gate Stack(HKMG)에서 Si-High K 사이 간 계면결함이 심한거는 알고 있는데, High-K (HfO2,HfSiO등) - Metal 사이에도 계면 결함 등의 이슈가 있나요??
2025.08.06
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