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Q. 반도체 공정 현업에서 금속 증착 방식

금속 증착하는데 유리한 방식이 무엇이 있을까요??

원래 스퍼터링을 금속 증착에 많이 쓰는 것으로 알고 있었는데, 최근에는 사용 빈도가 많이 줄어든 것으로 알고 있습니다. 현업에는 금속을 증착하는데 어떤 방식을 주로 사용하는지 궁금합니다.

추가적으로 PECVD도 금속 증착에 활용하는지 궁금합니다.