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Q. 포토 공정 omnicoat 관련 질문입니다
웨이퍼에 구리 증착 이후, 포토공정 맨 처음에 omnicoat 코팅하는 과정이 있는데요. 양이 부족하거나 잘못 뿌렸거나 해서 얼룩이 크게 생겼을때 아세톤이나 IPA로 지우고 다시 코팅해도 되나요?? 전용 develop 용액은 없습니다. 구글링에서 정보가 많이 없네요..
2022.08.24
답변 1
- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%
채택된 답변아세톤으로 지우시면 아주 잘지워집니다 아세톤이 없을 경우 신너로 지우셔도 되구요. IPA는 얼룩이 남기 떄문에 추천드리지 않아요.
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