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Q. 포토 공정 omnicoat 관련 질문입니다

웨이퍼에 구리 증착 이후, 포토공정 맨 처음에 omnicoat 코팅하는 과정이 있는데요.
양이 부족하거나 잘못 뿌렸거나 해서 얼룩이 크게 생겼을때 아세톤이나 IPA로 지우고 다시 코팅해도 되나요??
전용 develop 용액은 없습니다.

구글링에서 정보가 많이 없네요..