직무 · 삼성전자 / 공정기술

Q. Dry Etch

박병성!

두 번으로 나눠 Etch를 진행할 때 공정 조건을 안 바꾸고 전과 같이 진행했다면 한번에 Etch를 진행하는 것과 두번으로 나눠 Etct 진행하는 것이 차이가 있나요?? 한번에 Etch한게 패턴에 데미지를 더 주나요? 두 번쨰 etch는 어떤 식으로 공정조건이 바뀌나요? 바이어스를 더 거나요? 가스를 더 주입하나요?


2025.03.06

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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