회사/산업 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 반도체 공정 feol, beol

멘티114264

feol, beol layer가 어떻게 나누어 지는지 궁금합니다. 모스펫에서 g,d,s에 컨텍을 연결하는것 까지가 foel단이고 금속배선 부터가 beol인가요?


2019.05.05

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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