회사/산업 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 포토공정 해상도 향상 질문

윤슬빈

포토공정에서 해상도를 낮추고 DOF를 높이는 것이 미세공정을 위한 조건이지만 해상도 개선이 DOF를 높이는 것보다 우선적으로 중요하여 단파장을 사용하고 있다고 알고 있습니다. 해상도 개선이 DOF를 높이는 것보다 우선적으로 중요시 되는 이유는 무엇인가요?


2020.06.29

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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