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Q. Fab 내 반도체 장비 log 데이터 관련 질문
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2024.09.08
답변 3
로우닉스SK하이닉스코상무 ∙ 채택률 75%장비사 CS 출신입니다. Log Data는 기본적으로 장비사에게는 원격으로 제공되지 않습니다. 장비사 엔지니어가 방문 후 장비 작업 시 장비 컴퓨터에서 Log를 볼 순 있습니다. 단, 장비사 엔지니어가 Issue 해결을 하지 못해 장비사 본사에 Log를 보내야 할 때는 중요 Data를 삭제하고(레시피 이름 등) 메일로 송부해주기도 합니다.
- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%
이슈발생시에만 방문하여 로그를 외부로 송출하는 방식입니다. 실시간 송출시 고객사 내부 보안문제 우려가 있어 그렇게하는곳은 없습니다.
- ccw3268도쿄일렉트론코리아코이사 ∙ 채택률 94%
보통은 후자가 맞습니다. log를 넘겨줘야 볼 수 있습니다.
댓글 1
ccw32682024.09.08
그리고 최적화 완료된 상태에서 장비 납품합니다.
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