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Q. 증착공정 uniformity
안녕하세요 반도체공정실습을 하면서 산화막 증착 공정을 진행해봤는데요, 웨이퍼 내 dep rate를 시각화 해보니 특정방향으로 dep rate가 증가하는 경향성을 볼 수 있었습니다. 이렇게 불균일한 특성을 보이는 원인에 어떤것들이 있을까요?
2023.06.05
답변 3
- ㅅㅅ6코미코코상무 ∙ 채택률 87%
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- 졸졸린왈루(주)KEC코사장 ∙ 채택률 98%채택된 답변
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댓글 1
늘늘솜베리작성자2023.06.05
답변 감사합니다! 도움이 되었습니다~ 추가로 궁금한 점이 있는데요, Ar을 sputtering으로 증착시 막이 불균일하다면 원인에 무엇이 있는지도 알려주실수있나요,,?
- 졸졸린왈루(주)KEC코사장 ∙ 채택률 98%
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