Q. PECVD공정 Recipe에서 압력 및 기체유량에 대한 질문입니다.

답변 3

• c

  cw3268도쿄일렉트론코리아

  코이사 ∙ 채택률 94%

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  채택된 답변

  우선 Ar을 증가시키면 플라즈마가 밀도가 감소할 수도 있습니다(sputter 영향 증가 및 gas 희석). 압력은 일정하게 유지되기에 펌프에 더 많은 힘이 걸립니다.

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  댓글 1

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  2면지2

  작성자

  2024.08.04

  펌프에 더 많은 힘이 실리면 set 해놓은 유량과 다른 유량이 챔버내에 존재하게되나요?

• 니

  니꿈은뭐니삼성전기

  코사장 ∙ 채택률 86%

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  채택된 답변

  언급하신게 맞습니다. 챔버내 체적은 정해진거라 특정 기체분자가 추가되면 압력이 일정하게 유지될수 없습니다. 다른 가스의 기체분자는 줄어들고 ar 기체분자가 추가되어야 일정 압력이 유지됩니다.

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  댓글 1

  2

  2면지2

  작성자

  2024.08.04

  그럼 어떤 성격의 가스가 주로 감소하게되나요?

• M

  Memory Department삼성전자

  코전무 ∙ 채택률 82%

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  안녕하세요! PECVD 공정에서 챔버 내 압력은 주입되는 기체의 유량과 배출되는 기체의 양에 의해 결정됩니다. Ar 기체를 더 주입하면, 챔버 내 Ar 기체 분자가 더 많아지기 때문에 당연히 챔버 내 압력이 증가합니다. 그리고 압력이 일정하게 유지되기 위해서는, 챔버 내 압력 증가를 막기 위해 추가된 Ar 기체 분자의 압력만큼 다른 기체가 배출되어야 합니다. 이는 일반적으로 쓰로틀 밸브와 펌프 시스템을 통해 제어됩니다. 따라서, 압력이 일정하게 유지되기 위해서는 추가된 Ar 기체 분자의 압력만큼 다른 Gas가 배출되어야 하는 것이 맞습니다. 챔버 내 압력은 고정된 조건을 유지하기 위해, 주입되는 기체와 배출되는 기체의 균형을 맞추는 것이 매우 중요합니다. 도움이 되셨다면 채택 부탁드려요~ 응원합니다~!

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