직무 · 삼성전자 / 공정개발
Q. 마진 관련 실무적으로 궁금한 부분입니다
안녕하세요 공정엔지니어 신입사원입니다. 사실 실무를 많이 해보지 않아서, 마진 개념이 직관적으로 와닿지가 않습니다. 예를 들면, 최근에 한 막질의 오버에칭 문제가 있었는데 Etch 마진문제다? 이런식으로 표현하더라구요 그런데 그 마진 문제는 Etch rate가 높기 때문이며, 이를 낮추는 방향으로 테스트를 했습니다. Etch rate가 높으면 공정 안정성이 떨어질 수 있다는 것은 이해했습니다. 하지만, 그것이 마진과 어떤 관계가 있는건지 정확히 모르겠습니다. 예를 들어서, 마진에 포커싱을 해서 이슈를 해결하려면 두께 불량이 생겼는데 -> 마진 자체의 문제다? -> 마진 밖에서도 소자 특성이 크게 열화되지 않음을 평가? 이런 방향으로 진행되는 건가요? 선배님들 많은 도움주시면 감사합니다. 사실 이해가 잘 안돼서, 예시도 같이 들어주시면 정말 감사합니다.
2024.09.07
답변 5
안경공대남삼성전자코부사장 ∙ 채택률 64% ∙일치회사
채택된 답변안녕하세요. 말씀주신 flow가 정확합니다.
- MMemory Department삼성전자코전무 ∙ 채택률 82% ∙일치회사채택된 답변
안녕하세요! 마진은 공정에서 중요한 개념인데, 특히 반도체 공정에서 그 의미를 제대로 이해하는 게 중요합니다. 일반적으로 ‘마진’은 공정의 여유 범위나 안정성을 의미합니다. 예를 들어, Etch 마진은 에칭 공정에서 특정 두께를 남기기 위해 필요한 여유를 말하며, 이 여유가 부족하면 공정의 안정성에 문제가 생길 수 있습니다. 막질의 오버에칭 문제에서 'Etch 마진'이라는 표현은, 에칭 공정이 예상보다 더 많이 진행되었음을 의미할 수 있습니다. 이 경우, Etch rate가 너무 높아서 원하는 두께를 정확히 유지하지 못하고 있는 상황일 수 있습니다. 에칭 공정에서 마진을 확보하기 위해서는 에칭 속도를 조절하고, 전체 공정 안정성을 개선하는 방향으로 진행해야 합니다. 마진 문제를 해결하려면, 두께 불량이 마진 부족으로 인해 발생했는지 확인하는 과정이 필요합니다. 예를 들어, 불량이 발생한 부분이 마진 범위 안에 있는지, 혹은 마진 범위를 넘어갔는지를 평가해야 합니다. 공정에서 마진을 확보하면, 소자 특성이 마진 범위 밖에서도 크게 열화되지 않도록 하는 것이 목표입니다. 마진을 개선하기 위해서는, 공정 변수들을 조절하고, 시뮬레이션을 통해 최적의 마진 범위를 설정하며, 공정의 안정성을 높이는 방법을 고려해야 합니다. 예를 들어, Etch rate를 낮추어 공정의 변동성을 줄이거나, 마진을 넉넉하게 설정하여 공정의 변동성을 흡수할 수 있도록 하는 것이 좋습니다. 도움이 되셨다면 채택 부탁드려요~ 응원합니다~!
댓글 1
GGghl작성자2024.09.05
공정 마진 중에서 Etch time및 온도 조건도 포함될 수 있나요? Etch time 5~6s, 온도 30~32도 조건과 같은 것이 공정마진이 맞는지? 궁금합니다. 만약 마진 불량을 검증하려면 실제 웨이퍼의 Etch time이 5~6s 안에 이뤄졌는지를 확인하고, 높은 etch rate로 마진이 1s밖에안돼서 웨이퍼의 일부영역이 오버에칭이 발생했다 -> 마진 부족으로 인한 불량이다 -> etch rate 감소 후 마진 재설정 -> 소자 특성평가 이런 흐름에서 비약이 있나요?
- 메메에모리삼성전자코상무 ∙ 채택률 48% ∙일치회사채택된 답변
두께 불량과 소자 특성 모두를 최적화한다고 생각하시면 됩니다
- 탁탁기사삼성전자코사장 ∙ 채택률 77% ∙일치회사채택된 답변
예로들면 etch target이 10nm입니다. cd sem을 통해 계측을 측정하게 되는데, 이때 덜깍인것(under)는 더 깎으면 됩니다.그러나 over (10nm이상 깎임) 가 난다면 이건 살릴 수 없어서 죽여야합니다. 그래서 over가 더 위험하며, 마진 포커싱 해결을 위해 바이어스조절, target조절, 플라즈마 조절 등 여러 파라미터에대해 테스팅을 진행하게됩니다.
- 초초음파식가습기삼성전자코이사 ∙ 채택률 76% ∙일치회사채택된 답변
안녕하세요~ 맞습니다. 예시로 온도를 높였을때 두께가 줄어든다고 했을 때 두께의 스펙 범위도 있지만 INPUT인 온도에도 마찬가지로 공정 마진이 주어집니다. (이 범위 이내에서 진행했을 떄에는 수율에영향이 없었다는 뜻) 따라서 스펙을 맞추려고 온도를 조절해야 하나 공정 마진에 막혀 더이상 온도를 높이거나 줄일 수 없을때 1) 스펙 변경 2) 마진 변경 을 합니다. 이떄는 모두 수율 증명을 한 후에 진행이 됩니다
댓글 1
GGghl작성자2024.09.04
아 감사합니다. 그러면 Etch rate가 극도로 빨랐는데 이를 원인으로 조절한 것은 공정 마진이 너무 좁아지고, 이로 인해 잠재적으로 수율에 영향을 줄 수도 있기 때문이라고 생각해도 되나요?
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