직무 · 삼성전자 / 공정개발
Q. 마진 관련 실무적으로 궁금한 부분입니다
안녕하세요 공정엔지니어 신입사원입니다. 사실 실무를 많이 해보지 않아서, 마진 개념이 직관적으로 와닿지가 않습니다. 예를 들면, 최근에 한 막질의 오버에칭 문제가 있었는데 Etch 마진문제다? 이런식으로 표현하더라구요 그런데 그 마진 문제는 Etch rate가 높기 때문이며, 이를 낮추는 방향으로 테스트를 했습니다. Etch rate가 높으면 공정 안정성이 떨어질 수 있다는 것은 이해했습니다. 하지만, 그것이 마진과 어떤 관계가 있는건지 정확히 모르겠습니다. 예를 들어서, 마진에 포커싱을 해서 이슈를 해결하려면 두께 불량이 생겼는데 -> 마진 자체의 문제다? -> 마진 밖에서도 소자 특성이 크게 열화되지 않음을 평가? 이런 방향으로 진행되는 건가요? 선배님들 많은 도움주시면 감사합니다. 사실 이해가 잘 안돼서, 예시도 같이 들어주시면 정말 감사합니다.
2024.09.07
답변 5
안경공대남삼성전자코전무 ∙ 채택률 65% ∙일치회사
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- MMemory Department삼성전자코상무 ∙ 채택률 82% ∙일치회사채택된 답변
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댓글 1
GGghl작성자2024.09.05
공정 마진 중에서 Etch time및 온도 조건도 포함될 수 있나요? Etch time 5~6s, 온도 30~32도 조건과 같은 것이 공정마진이 맞는지? 궁금합니다. 만약 마진 불량을 검증하려면 실제 웨이퍼의 Etch time이 5~6s 안에 이뤄졌는지를 확인하고, 높은 etch rate로 마진이 1s밖에안돼서 웨이퍼의 일부영역이 오버에칭이 발생했다 -> 마진 부족으로 인한 불량이다 -> etch rate 감소 후 마진 재설정 -> 소자 특성평가 이런 흐름에서 비약이 있나요?
- ddo__young삼성전자코상무 ∙ 채택률 56% ∙일치회사채택된 답변
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- 탁탁기사삼성전자코사장 ∙ 채택률 82% ∙일치회사채택된 답변
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- 초초음파식가습기삼성전자코이사 ∙ 채택률 78% ∙일치회사채택된 답변
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GGghl작성자2024.09.04
아 감사합니다. 그러면 Etch rate가 극도로 빨랐는데 이를 원인으로 조절한 것은 공정 마진이 너무 좁아지고, 이로 인해 잠재적으로 수율에 영향을 줄 수도 있기 때문이라고 생각해도 되나요?
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