Q. HKMG에서 하이케이 쓰는 이유
책에는 반도체 미세화되면서 단채널효과억제를 위해서 산화막두께를 줄였다고 나와있습니다. 그러면서 누설전류가 증가돼서 하이케이로 바꿨다고 써져있은데,,
여기서 이해가 안가는거는 단채널효과억제를 위해서 산화막 두께를 왜 줄이나요..??
책에는 반도체 미세화되면서 단채널효과억제를 위해서 산화막두께를 줄였다고 나와있습니다. 그러면서 누설전류가 증가돼서 하이케이로 바꿨다고 써져있은데,,
여기서 이해가 안가는거는 단채널효과억제를 위해서 산화막 두께를 왜 줄이나요..??
단채널효과를 검색해보시면 아시겠지만
산화막두께 (Tox)가 중요한 지표로 들어가게 됩니다.
자세한 것은 더 찾아보시면 좋은 답을 갖을 수 있으실 것 같습니다
2023.02.18