직장생활 · 삼성전자 / 공정설계

Q. HKMG에서 하이케이 쓰는 이유

웅옹옹

책에는 반도체 미세화되면서 단채널효과억제를 위해서 산화막두께를 줄였다고 나와있습니다. 그러면서 누설전류가 증가돼서 하이케이로 바꿨다고 써져있은데,, 여기서 이해가 안가는거는 단채널효과억제를 위해서 산화막 두께를 왜 줄이나요..??


2022.06.06

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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