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Q. Pvd(스퍼터링) 업무를 담당하시는 현직자분 계신가요??
스퍼터링 실습을 하며 문제를 해결한 경험을 자소서에 작성하였는데, 스퍼터링을 담당하시는 현직자의 관점에서 내용에 의문이 들거나, 이해가 안되는 부분이 있으신지 확인받고 싶습니다. Si기판에 Al막을 증착시키는 실습이었다. 스퍼터링 중 al타겟에서 아크가 발생해 방전이 불안정했다. 또한 아크로 인해 박막에 이물질이 올라가 문제가 됐다. (sem 이미지 찍어서 이물질을 확인했는지 아닌지는 기억이 잘 안납니다.) 아크가 발생하는 원인을 찾기 위해 전공서적 등을 찾아보았다. 타겟 표면이 산화되어 전하가 축적되어 아크가 발생했고, 다시 해결책을 찾아봤다. 프리스퍼터링을 해서 타겟을 클리닝해주면 해결할 수 있어 프리스퍼터링을 해주었다. 기억을 더듬어 작성했는데, 실무자가 보기에는 말이 안되고 이상한거는 없나요? 그리고 sem찍은거는 확실하지는 않지만, sem찍었다는 얘기를 넣어주는게 좋을까요?
2020.05.25
답변 2
- FFinal pageLG화학코부사장 ∙ 채택률 69%
안녕하세요 멘티님 실무적인 부분은 코칱칭 받으신거같아 업무 전개 하실때 원인 찾아서 해결방안 얘기하시고 꼭 그 부분을 통해 배운점과 지원하시는 직무에 어떤점을 기여하겠다고 첨언 해주시는거 잊지마세요!
- 메메칸더V
스퍼터링 중 플라즈마와 AL 타겟간의 아크가 발생한것 아닌가요? 아크로 인해 박막에 이물질이 생겼다는것도 이해가 안갑니다 아크가 이물질을 유발하지는 않고, 증착 능력(두꼐, 밀도 등등)에 문제를 야기시킵니다. 그리고 프리 스퍼터링이라는 표현보다는 챔버 시즈닝이라는 표현이 맞는 표현입니다. 마지막으로 아크 문제가 발생하면 SEM 분석을 진행하진 않고, FIB 분석을 진행합니다.
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