SK ํ์ด๋์ค R&D ๊ณต์ ํ๊ฒ ์ง๋ฌด ์ค์
์๋
ํ์ธ์ ์๋ฐ๊ธฐ ์ด์ฒ ํจํค์ง ๊ฐ๋ฐ ์ง๋ฌด๋ก ์๋ฅํฉ๊ฒฉํ์ผ๋ 6์ ์ฑ์ฉ์๋ R&D ๊ณต์ ์ง๋ฌด๋ก ์ง์ํ๋ ค ํฉ๋๋ค.
์ธ๋ถ ์ง๋ฌด ํ๊ฒํ
๊ด๋ จํ์ฌ ์ฌ์ญค๋ณด๊ณ ์ ํฉ๋๋ค.
diffusion ๊ณต์ ์ CVD๋ ALD ํน์ C&C ๊ณต์ ์ CMP๋ cleaning ์ชฝ์ผ๋ก ํ๊ฒํ
ํ ๊น ํฉ๋๋ค. ์๋ ์ ์ ์ด๋ ฅ์ ๋ฐํ์ผ๋ก ๊ฒฝ์๋ ฅ์ด ์๋ ์ ํ์ผ์ง ์ง๋ฌธ๋๋ฆฝ๋๋ค.
ํ์ฌ: ์ง๊ฑฐ๊ตญ ํํ ์ ๊ณต
ํ๋ถ์ฐ๊ตฌ์ 2๋
์ ๊ธฐ ํํฉ๋ฌผ ํฉ์ฑ ๋ฐ ๋ถ์
ist ์ธํด 1๋ฌ์ฉ ์ด 2ํ ์ , ๋ฌด๊ธฐ ํํฉ๋ฌผ ํฉ์ฑ ๋ฐ ๋ถ์
์์ฌ: ist ํํ ์ ๊ณต
์ฐ๊ตฌ์ฃผ์ : ์ , ๋ฌด๊ธฐ ํํฉ๋ฌผ ์ค๊ณ, ํฉ์ฑ ๋ฐ ๋ถ์, ์ ๊ธฐํํ์ CO2 ํ์ ๋ฐ ๋ฉ์ปค๋์ฆ ์์
์ ๊ธฐ ๋ฆฌ๊ฐ๋ ๋ฐ ๋ฌด๊ธฐ ํํฉ๋ฌผ ์ค๊ณ, ํฉ์ฑ ๋ฐ ๋ถ์ ์ํ
CO2 ์ ๊ธฐํํ์ ํ์ ์ฐ๊ตฌ
Glovebox ๋ฐ Schlenk line์ ํ์ฉํ ๋ฏผ๊ฐ์ฑ ๋ฌผ์ง ํฉ์ฑ ๋ฐ ์ทจ๊ธ ๊ธฐ์
1H, 13C-NMR, FT-IR, LC-MS ๋ฅผ ํ์ฉํ ํํฉ๋ฌผ ๋ถ์ ์ญ๋
CV๋ฅผ ํ์ฉํ ์ ๊ธฐํํ ๊ธฐ๋ฒ์ ํ์ฉํ ๋ฌผ์ฑ ํ๊ฐ ๋ฐ ๋ถ์ ์ญ๋